超臨界干燥是一種以^和可控的方式去除液體的過程，其具體的干燥過程如下：
  
  當(dāng)液體中的物質(zhì)穿過液體到氣體的邊界時(shí)，液體以有限的速率變成氣體，而液體的量減少，當(dāng)這種情況發(fā)生在異質(zhì)環(huán)境中時(shí)，液體中的表面張力會(huì)拉動(dòng)液體可能與之接觸的任何固體結(jié)構(gòu)。細(xì)胞壁，硅膠中的枝晶和微機(jī)電裝置的微小機(jī)械等精密結(jié)構(gòu)，隨著液-氣-固結(jié)的移動(dòng)，往往會(huì)被這種表面張力破壞。
  
  為了避免這種情況，可以通過兩個(gè)可能的從液相到氣相的備用路徑引入樣品，而不會(huì)在相圖上穿過液-氣邊界。在冷凍干燥中，這意味著向左轉(zhuǎn)。然而，即使通過固-氣邊界，一些結(jié)構(gòu)也被破壞。
  
  另一方面，超臨界干燥在高溫高壓側(cè)向右轉(zhuǎn)，這種從液體到氣體的路線不會(huì)穿過任何相界，而是穿過超臨界區(qū)域，在那里氣體和液體之間的區(qū)別不再適用，在干燥的臨界點(diǎn)，液相和氣相的密度變得相等。